Создание технологии получения раствора высокочистой ортофосфорной кислоты для нужд микроэлектронной промышленности
Н3. Новые материалы и химические технологии
О проекте:

Проект направлен на разработку технологии и создание опытной установки для производства высокочистой ортофосфорной кислоты для микроэлектроники.

Основная идея заключается в создании отечественной санкционно-независимой технологии глубокой очистки до чистоты 7N (уровень примесей ppb).

Планируемым результатом является экспериментальная установка производительностью не менее 5000 кг/год и образец кислоты, соответствующий строгим требованиям микроэлектронной промышленности.

Продукт предназначен для ключевых российских производителей микроэлектроники (АО «Микрон», ООО «НМ-Тех»).

Ключевые преимущества:
Обеспечение импортонезависимости в стратегически важной отрасли за счет отечественной технологии.
Университет:

Национальный исследовательский Нижегородский государственный университет им. Н. И. Лобачевского (ННГУ)

Автор:
Маслов
Алексей Андреевич

Контакты:
alexey_andreevich_maslov@mail.ru
Made on
Tilda